ITO靶材的基本介绍
主要成分:氧化铟(In2O3)和氧化锡(SnO2)
应用领域:液晶显示、OLED、太阳能电池、触摸屏等
靶材类型:新靶材、废靶材(使用后剩余靶材)
ITO靶材主流回收技术
机械物理分离:适合较厚靶层,回收效率高。
湿法化学回收:利用酸碱进行溶解分离,适合大批量废靶材。
热处理工艺:部分回收方案采用高温分离,能耗较大。
铟在半导体、液晶显示器等电子器件的生产中发挥着重要作用。铟靶材通常用于物相沉积(PVD)工艺中,制造薄膜。然而,铟靶材的成本高昂,且供应有限,因此从废弃或用过的靶材中回收铟变得至关重要。
提纯铟的方法包括蒸馏法、电解法和区域精炼法。蒸馏通过高温蒸发和冷凝来提纯铟。电解利用电流来提纯铟。区域精炼则通过移动的熔融区来提纯铟。
总之,铟靶材回收是利用铟资源的重要步骤。尽管有多种回收方法,但分离和提纯铟仍是关键挑战。应继续努力提高回收效率和可持续性,以确保铟资源的长期可获得性。